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Die Wechselwirkung von Punkt- und Liniendefekten in Halbleitern ist von großer Bedeutung. Gegenstand dieses Projektes ist die Änderung des Mechanismus des Versetzungsgleitens in Verbindungshalbleitern bei niedrigen Verformungstemperaturen. Die Untersuchung der Tieftemperaturdeformation von Halbleitern sowie spektroskopische und mikroskopische Untersuchungen des Bildungmechanismus von Punktdefekten durch Positronenannihilation wird durchgeführt, um eine Verbindung zwischen Versetzungsdynamik und der Generation von intrinsischen Punktdefekten herzustellen. Die plastische Deformation wird an GaAs mit zusätzlichem hydrostatischen Druck durchgeführt, um Sprödbruch bei Raumtemperatur zu vermeiden.