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Sonotec Ultraschallsensorik Halle GmbH
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Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Frankfurt (Oder)
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Institut für Halbleitertechnik Aachen
Universalbeschichtung GmbH Wolfen
Prof. Tim Lüth, Dr. Stefan Weber, TU München, Lehrstuhl für Mikro- und Medizingerätetechnik
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Technologie- und Gründerzentrum Halle GmbH
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