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Quarzkristallsensoren für die Charakterisierung von dünnen Schichten und Grenzflächen
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Jens Schröder
Finanzierung:
Resonante Quarzkristallsensoren für dünne Schichten und Grenzflächenphänomene, Entwicklung der Sensorelektronik.
Anmerkungen
Schlagworte:
Schicht, dünne
Schicht, dünne
Kontakt
Prof. i. R. Peter Hauptmann
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Mikro- und Sensorsysteme
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6718309
Fax:+49 391 6712609
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