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Integrierte Piezoaktoren sind innovative, komplexe Funktionskomponenten, in denen durch gezielte Kombination von Materialien und Funktionen neuartige Leistungsmerkmale imple-mentiert und die Eigenschaften dadurch deutlich optimiert werden. Integration bedeutet dabei einerseits die prozesstechnische Verbindung von spezifischen piezoelektrischen Materialien mit anderen Materialien andrerseits die strukturelle Verbindung verschiedener Funktionsein-heiten. Diese können wiederum Keramiken, Metalle, Halbleiter oder Gläser sein. Insbesonde-re soll durch die Integration eines Piezoaktors mit Wegvergrößerungssystemen, Drosselele-menten sowie Sensorelementen und Komponenten der Mikroelektronik ein aktives Dämpfungssystem mit bisher nicht erreichter Leistung realisiert werden.