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Mikro-Elektrische-Mechanische-Systeme (MEMS) beschreiben eine Kombination aus miniaturisierten mechanischen, optischen, elektrischen und fluidischen Bauelementen, die für innovative Sensor- und Aktorsysteme eingesetzt werden. Dabei kommen verschiedenste Werkstoffe zum Einsatz. Wichtige Substratwerkstoffe sind dabei Silizium, Keramiken, Kunststoffe und Gläser. Auf Basis der Mikrosystemtechnik gefertigte mechanische Sensoren bieten das Potenzial auch in kleinsten Bauräumen physikalische Größen wie Kraft oder Druck zuverlässig zu erfassen. Ein Anwendungsbeispiel hierfür ist die Messung der Kontaktnormalkraft in miniaturisierten Steckverbindern. Diese besitzen einen Bauraum im Sub-Millimeter-Bereich und besitzen dabei zum Teil mehrere Kontaktpunkte an denen die Kontaktkraft einzeln gemessen werden muss. Der Wert dieser Kontaktnormalkraft ist dabei ein Schlüsselparameter für das elektrische Verhalten eines Steckverbinders über die Lebensdauer und die Bestimmung dieses Wertes ist zentraler Bestandteil der Qualifizierung und weiterführenden Qualitätssicherung innerhalb der Fertigung. Die in diesem Exponat vorgestellte siliziumbasierte Sensorlösung ermöglicht es, das Prüfvakuum im Bereich der Kontaktnormalkraft, welches durch eine fortschreitende Miniaturisierung der Steckverbinder entstanden ist, zu füllen und somit ein lückenloses Qualitätsmanagement zu ermöglichen. 

Zu sehen sind die Sensoren auf der Hannovermesse in den kommenden Tagen.

Was: Siliziumbasierte Sensoren zur Kontaktnormalkraftmessung in Steckverbindern auf der Hannovermesse
Wann: 25.-29.04.2016
Wo: Hannover Messegelände Laatzen, Halle 2, Stand A38