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Zur Dickenmessung elektrisch isolierender Schichten, frei tragend oder auf einem Grundmaterial aufgebracht, wird diese Schicht mit einer Mikrowelle bestrahlt. Das reflektrierte Signal wird nach Betrag und Phase ausgewertet.

Eine Spezialisierung ist die Wanddickenmessung von Glasbehältern unter Produktionsbedingungen. Das Messverfahren ist berührungslos, Abstandsschwankungen zwischen Glasoberfläche und Sensor haben keinen Einfluss auf das Messergebnis.

Eine zweite Spezialisierung ist die Lackdickenmessung auf kohlefaserverstärktem Kunststoff (CFK). Die Messung ist berührend, aber zerstörungsfrei. Das bekannte wirbelstrombasierte Dickenmessverfahren von Lack auf Metall wird hierbei auf das nur halbwegs leitende Material CFK übertragen.