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Im Projekt wurden mikromechanisch gefertigte Gassensoren untersucht, die ihre sensitiven Eigenschaften durch einen Dünnfilm aus TiO2 erhalten. Die Entwicklung zielt auf einen Anwendungsbereich mit erhöhten Einsatztemperaturen. Verschiedene Präparationstechnologien zur Abscheidung des sensitiven Films wurden getestet. Der zweite Teilaspekt des Projekts befaßte sich mit einem bei hohen Temperaturen stabilen Heizungs- und elektrischen Anschlußsystem.