« Förderinformationen

Das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) fördert auf Basis dieser Richtlinie strategische Investitionen für den Ausbau der nationalen Forschungsstrukturen im Bereich Mikroelektronik durch den Aufbau einer Forschungsfabrik für neuartige Rechentechnologien wie Quanten- und neuromorphes Computing. Damit sollen die strukturellen und gerätetechnischen Voraussetzungen für die Forschung zur Skalierung und Hochintegration neuartiger Rechentechnologien auch auf Wafer-Ebene gestärkt und der Zugang für verschiedene Nutzergruppen zu diesen Hochtechnologien verbessert werden. Die Forschungsfabrik soll eine wichtige Brückenfunktion zwischen der Grundlagenforschung sowie der industriellen Fertigung und Anwendung einnehmen und damit einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der zukünftigen Hardware-Basis neuartiger Rechentechnologien in Deutschland liefern.

Zuwendungszweck ist es, die gerätetechnische Ausstattung und bestehende Forschungsstrukturen in der Mikro-elektronik auszubauen. Dies soll durch Investitionen zur Modernisierung und Erweiterung der Ausstattung an außeruniversitären Forschungseinrichtungen, gegebenenfalls im Verbund mit Hochschulen, erfolgen. Neben der technischen Ausstattung sollen auch die Kompetenzen von Forschenden und Fachkräften sowie die Qualifizierung des wissenschaftlichen Nachwuchses erweitert werden. Industrierelevante Forschungsbedingungen und ein zentraler Zugang zu Forschungskompetenzen der Halbleiterfertigung für Hochschulen, Forschungseinrichtungen und Unternehmen, insbesondere Start-Ups und KMU, sollen die Voraussetzungen verbessern, dass anwendungsorientierte Innovationen Wirtschaft und Gesellschaft schneller zur Verfügung stehen.

Gegenstand der Förderung sind Investitionen zur Modernisierung und Erweiterung der Forschungsausstattung an außeruniversitären Forschungseinrichtungen und gegebenenfalls Hochschulen. Die entstehende Forschungsausstattung soll eine geschlossene Mikroelektronik-Entwicklungskette in Form von flexiblen Forschungslinien für Wissenschaft und Wirtschaft ermöglichen, um den Transfer von innovativen Forschungsergebnissen zu stärken und zu beschleunigen. Die anzuschaffenden Anlagen und Geräte müssen im Sinne eines ganzheitlichen Anlagenkonzepts in einem sachlogischen Zusammenhang stehen und sich komplementär in die nationalen und gegebenenfalls europäischen Mikroelektronik-Forschungsstrukturen einfügen. Weiterhin muss das Interesse von zukünftigen Nutzergruppen an der entstehenden Forschungsausstattung nachgewiesen werden, wie in Nummer 4.2 erläutert.

Es werden Investitionen gefördert, die auf wesentliche Innovationen in der Mikroelektronik zur Steigerung der Skalierbarkeit, Fertigungsqualität und Integrationsdichte für neuartige Rechentechnologien, insbesondere auf Wafer-Ebene, abzielen. Hierzu gehören Anlagen, Geräte und Werkzeuge insbesondere für
o Design und Modellierung von Material- und Bauteileigenschaften;
o Schaltungsentwurf, insbesondere für hochintegrierte Steuer- und Auslesehardware;
o Strukturierungs- und Abscheideprozesse für unterschiedliche Materialsysteme;
o Ätz- und Passivierungstechniken, insbesondere für die Reduktion der Parameterstreuung;
o Aufbau- und Verbindungstechnologien für 3D-Systemintegration;
o spezialisierte Testumgebungen und -verfahren für Prüfaufgaben und Zuverlässigkeitsanalysen;
o Analyse und Metrologie für die präzise Charakterisierung von Material- und Bauteileigenschaften
mit potenziell großer Breitenwirksamkeit für Quanten- und neuromorphes Computing. Die genannten Beispiele sind nicht ausschließend, sondern beispielhaft zu verstehen.

Antragsberechtigt sind außeruniversitäre Forschungseinrichtungen und Hochschulen mit ausgewiesener Expertise im Bereich der Mikroelektronik für neuartige Rechentechnologien. Bei Verbundvorhaben von mehreren Forschungseinrichtungen und Hochschulen ist eine koordinierende Stelle zu benennen.

Das Antragsverfahren ist zweistufig angelegt.

Weitere Informationen:
https://www.bmbf.de/bmbf/shareddocs/bekanntmachungen/de/2021/11/2021-11-10-Bekanntmachung-Mikroelektronik.html