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Messsysteme und -verfahren zu großflächigen optischen Prozessüberwachung in der Glas- und Beschichtungsindustrie

Projektleiter:
Miclea, Paul-Tiberiu; Dr. {'user_id': 14933, '__url__': '/pl/miclea-97275', '_flavour': 'pl', 'name': 'Miclea, Paul-Tiberiu; Dr.', 'relevant': False, 'structure_head_name_de': 'Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP'}
Finanzierung:
EU - EFRE Sachsen-Anhalt ;
Erforschung neuartiger Messverfahren zur Bewertung der optischen und elektro-optischen Schichteigenschaften
großflächige und zerstörungsfreie Dünnschichtcharakterisierung durch extrem homogene und spektral selektive LED-Beleuchtungseinheiten
wellenlängenaufgelöste Inspektion durch Hyperspektralabbildung sowie ellipsometrische Messverfahren und optische Transmission/Reflexionsmessung an Großformaten

Anmerkungen

Schlagworte:
Dünnschichtcharakterisierung, elektro-optische Schichteigenschaften, ellipsometrische Messverfahren

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