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Entwicklung einer maskenlosen anisotropen Plasmatexturierung von Siliziumnitrid (SiN) für die industrielle Massenfertigung in der Photovoltaik (Black-SiN)

Projektleiter:
Finanzierung:
EU - EFRE Sachsen-Anhalt ;
  • Rezeptentwicklung der Black-SiN Textur
  • Mikrostrukturelle Untersuchung der Black-SiN Textur
    • Bestimmung der Reaktionskinetik und der Korrelation                                                                 zwischen der Textur und deren optischer Eigenschaften
  • Optimierung der optoelektrischen Eigenschaften
    • FDTD-Simulationen der optimalen Morphologie
  • Entwicklung eines Gerätekonzeptes

Anmerkungen

Schlagworte:
Photovoltaik, Plasmatexturierung von Siliziumnitrid, SiN

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