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Elektrische und strukturelle Charakterisierung von Blöcken und Wafern aus kristallinem Silizium - Entwicklung eines integrierten Ansatzes

Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Jan Lich, Marcus Oswald, Heiko Wust
Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Es soll in einem integrierten Ansatz, unter Verwendung eines neuen Messverfahrens sowie neuer Ausgangsmaterialien ein direkter Zusammenhang hergestellt werden zwischen der für Solarzellen relevanten Materialqualität im Kristallblock und den daraus hergestellten Wafern. Durch eine gezielte Messung von Lebensdauern am Block nach einem neuen Verfahren soll ein möglichst frühzeitiges Erkennen von Kristallbereichen erreicht werden, aus denen keine guten Wafer hergestellt werden können. Dieses Material kann demzufolge vor dem Waferingprozess bereits ausgesondert und einem Recyclingprozess zugeführt werden. Dies erhöht die Materialausbeute und reduziert insgesamt die Waferherstellungskosten. Ein solcher integrierter Ansatz ist insbesondere bei neuartigem, stärker verunreinigtem, kostengünstigerem Silizium sehr wichtig und kann im Erfolgsfalle in einem späteren Schritt auch auf die prozessbegleitende Charakterisierung des Materials bis hin zur Solarzelle erweitert werden.

Anmerkungen

Schlagworte:
Charakterisierung, Silizium, Wafer

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