« Personen

Prof. Dr. Matthias Petzold

Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS

Geschäftsfeld Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik

Walter-Hülse-Straße 1

06120

Halle (Saale)

Tel.:+49 345 5589130

Fax:+49 345 5589101

matthias.petzold@imws.fraunhofer.de