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Prof. Dr. Matthias Petzold

Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS

Geschäftsfeld Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik

Walter-Hülse-Straße 1

06120

Halle (Saale)

Tel.:+49 345 5589130

Fax:+49 345 5589101