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Robert Klengel
Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
Geschäftsfeld Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Walter-Hülse-Straße 1
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 5589159
robert.klengel@imws.fraunhofer.de
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