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Es werden XPS-Untersuchungen vor allem auf kontaminierten Oberflächen von Ferroelektrika sowie anderen Beschichtungen, die Elemente wie Bi, Ti, Pb, Zr, Ti, Nb, Si, B, Al enthalten, durchgeführt. Die prozentualen Atomkonzentrationen werden berechnet sowie der Gehalt an Verunreinigungen (C, O) bestimmt.