« Forschungslandschaft: Projekte
Messsystem zur online-Überwachung von Megasonic Reinigungsdüsen und Verfahrensentwicklung eines Messsystems zur Charakterisierung von Megasonic Systemen (PRO INNO II)
Projektleiter:
Projektbearbeiter:
Dr. M. Silinskas
Finanzierung:
Bund;
Im Rahmen der Forschungsarbeiten soll in enger Zusammenarbeit mit einem industrieellen Partner ein Reinigungssystem für die Halbleiterindustrie entwickelt werden, das den zukünftigen hohen Anforderungen an die Oberflächenreinigung von Silizium-Prozeßscheiben
- höhere Reinigungswirkung
- Abreinigung von Partikeln kleiner 0,1 µm
- kürzere Prozesszeiten
Anmerkungen
Schlagworte:
Halbleitertechnologie, Reinigung, Reinigungseffiziens, Silizium
Halbleitertechnologie, Reinigung, Reinigungseffiziens, Silizium
Kontakt
Prof. Dr. Edmund P. Burte
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut für Informations- und Kommunikationstechnik
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6758447
Fax:+49 391 6712103
weitere Projekte
Die Daten werden geladen ...