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HVPE GaN Templates mit unterschiedlicher Vorspannung

Finanzierung:
Industrie;
Wachstum spannungsangepasster GaN Templates für die HVPE dicker Schichten mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie. Dazu werden Saphir Substrate mit GaN bewachsen und die Verspannung reproduzierbar auf die optimalen Werte eingestellt.

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Schlagworte:
Bulk GaN

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