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Entwicklung von piezoelektr. Spiralfedern für die Anwendung in einer Uhr
Projektleiter:
Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Si basierte Spiralfedern werden in der metallorganischen Gasphasenepitaxie mit AlN bewachsen. Darauf folgt eine Prozesierung und Kontaktierung der innenliegenden Spiralfederflächen um so die induzierte Piezospannung als energiequelle zu nutzen.
Anmerkungen
Schlagworte:
AlN MOVPE
AlN MOVPE
Kontakt
apl. Prof. Dr. Armin Dadgar
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
Fakultät für Naturwissenschaften
Institut für Physik
Universitätsplatz 2
39106
Magdeburg
Tel.:+49 391 6751384
Fax:+49 391 6711130
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