Innovationsportal Sachsen-Anhalt

« Forschungslandschaft: Projekte

Entwicklung von piezoelektr. Spiralfedern für die Anwendung in einer Uhr

Finanzierung:
Fördergeber - Sonstige;
Si basierte Spiralfedern werden in der metallorganischen Gasphasenepitaxie mit AlN bewachsen. Darauf folgt eine Prozesierung und Kontaktierung der innenliegenden Spiralfederflächen um so die induzierte Piezospannung als energiequelle zu nutzen.

Anmerkungen

Schlagworte:
AlN MOVPE

Kontakt

weitere Projekte

Die Daten werden geladen ...