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Entwicklung Epitaxierezept für GaN-auf-Saphir mit definiertem Spannungszustand

Finanzierung:
Industrie;
Ein Epitaxierezept zum Wachstum einer definiert vorgespannten GaN auf Saphir Schicht mittels metallorganischer Gasphasenepitaxie wird entwickelt. Der Wachstumsprozess wird im Detail mit den wesentlichen Parametern für einen Wachstumserfolg dokumentiert

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Schlagworte:
GaN

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