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Analyse der Gasphasenvorgänge in Niedertemperatur-Plasmen zur Modifizierung flexibler Substrate
Projektleiter:
Finanzierung:
- Test von optischen, massenspektroskopischen Diagnostikmethoden zur Gasphasenanalyse von Niedertemperatur-Plasmen
- Etablierung von in-situ-Prozessüberwachungsmethoden bzw. einer Prozessendpunktkontrolle bei der Plasmatexturierung von flexiblen Wafern
- Ableitung eines Zeitmodells der Oberflächenmodifizierung von Verpackungsfolien in Abhängigkeit von Postplasma-Lagerungsbedingungen
Anmerkungen
Schlagworte:
Gasphasenanalyse, Oberflächenmodifizierung, Plasmen
Gasphasenanalyse, Oberflächenmodifizierung, Plasmen
Kontakt
Dr.-Ing. Sandra Richter
Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS
Geschäftsfeld Biologische und Makromolekulare Materialien
Walter-Hülse-Straße 1
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 5589259
sandra.richter@imws.fraunhofer.de
Walter-Hülse-Straße 1
06120
Halle (Saale)
Tel.:+49 345 5589259
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