XRD SmartLab µHR (microfocus-high-resolution) Rigaku Europe SE
G16
Universitätsplatz 2
39106 Magdeburg
Tel.:+49 391 6758674
Fax:+49 391 6748108
« Infrastruktur: Geräte
Gerätebeschreibung
Hochauflösendes Röntgendiffraktometer SmartLab µHR mit Mikrofokus-Optik zur Analytik epitaxialer Dünnschichsysteme. Das SmartLab ist mit einer Drehanode mit Kupfertarget und confokaler Mikrofokusoptik (CMF-2D) ausgestattet. Zusätzlich mit 1D Detektor D/tex ultra und mit AXAS M1 und M2 Modul mit energiedispersivem Vitus H50 SDD Detektor ausgerüstet.Tiefenaufgelöste Elementanalyse per durch Kombination von XRF und streifendem Einfall möglich.
Projekte
-
Röntgendiffraktometer
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG);
-
Reaktive Sputterabscheidung von nitridischen Halbleiterschichten, RESPUN
BMWi/AIF;
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