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Pulsed Sputter Epitaxy

G16

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.:+49 391 6758674

Fax:+49 391 6748108

Gerätebeschreibung

Pulsed Sputter Epitaxy of III-nitrides from metallic targets in a UHV Chamber with heated sample holder

Projekte

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