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3D-Oberflächenmessplatz FORM TALYSURF 120 PC

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Maschinenbau

Institut für Fertigungstechnik und Qualitätssicherung

G12

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.:+49 391 6758568

Fax:+49 391 6742370

Gerätebeschreibung

FORM TALYSURF 120 PC, Taylor Hobson

Vorschublänge 120 mm
Meßbereich 1 mm, Auflösung 32 nm
Meßbereich 2 mm, Auflösung 64 nm bzw.
Meßbereich 28 mm
Software:
-Rauheit, Welligkeit, Form
-Kontur
-3D-Oberfläche

y-Verschiebetisch, Newport

-Verfahrbereich 150 mm
-min. Schrittweite 1 µm

Laserfokussensor MICROFOKUS, UBM

-Meßbereich 1 mm

Projekte

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