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UHV-Atomkraft-/Rastertunnelmikroskop: -ist ein im Ultrahochvakuum arbeitendes Rastertunnel- sowie Rasterkraftmikroskop (STM/AFM). Unter Ausnutzung des Tunneleffektes zwischen metallischer oder halbleitender Probenoberfläche und Tunnelspitze wird letztere lateral über die Probe geführt und unter Konstanthaltung des Tunnelstroms über einen Regelkreis in der Höhe nachgestellt. Diese über Piezoaktuatoren technisch realisierten Spitzenansteuerung gestattet sogenannte Lateralscans zwischen einigen 10 nm und 5 µm bei Höhenauflösungen unter 1Å.
Die Multitechnik-Anlage der amerikanischen Firma Perkin Elmer (jetzt Physical Electronics) dient zur chemischen Charakterisierung von metallischen Oberflächen bis zu Tiefen von einigen Nanometern. Die angewandten Techniken sind Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS oder ESCA) sowie Auger-Elektronenspektroskopie (AES). Beide unterscheiden sich hinsichtlich der Anregungsquelle und der Art der energetisch spektroskopierten Elektronen. Je nach Zielsetzung erfolgt die Auswahl der einen oder anderen Technik.