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Elektrische Rastersondenmikroskopie

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg

Fakultät für Naturwissenschaften

Institut für Physik

G16

Universitätsplatz 2

39106 Magdeburg

Tel.:+49 391 6758674

Fax:+49 391 6748108

https://www.physik.ovgu.de/

physik@ovgu.de

Gerätebeschreibung

Messverfahren:
Scanning Surface Potential Microscopy - SSPM
Electrical Force Microscopy - EFM
Magnetic Force Microscopy - MFM
Scanning Capacitance Microscopy - SCM
bei verschiedenen Temperaturen (300 K - ca. 400 K)
mit optischer Anregung (300 nm - 3000 nm)
Korrelation mit diversen Standardtechniken zur Analyse von Topographie- und Materialkontrast (Contact Mode, Tapping Mode, Lift Mode, Phase Imaging,…)

Forschungsgebiete:
Elektrische Eigenschaften von Strukturdefekten in Wide-Gap-Halbleitermaterialien (Gruppe-III-Nitride, ZnO)
Submikroskopische Charakterisierung von Halbleiterbauelementen (LED's, HEMT's, …)
Weiterentwicklung der SPM-Verfahren zur ortsaufgelösten Defektspektroskopie

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